净化工程
PURIFICATION ENGINEERING
十万级无尘车间0.5微米的最大容许粒子浓度小于352000(pc/m3),5微米的最大容许粒子浓度小于29300(pc/m3)。
十万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配,某些情况下也用于食品饮料工业,此外十万级无尘车间在医工业中也很常用。
十万级净化洁净室换气次数估算:十万级洁净室不小于15次/h。
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十万级无尘车间0.5微米的最大容许粒子浓度小于352000(pc/m3),5微米的最大容许粒子浓度小于29300(pc/m3)。十万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配,某些情况下也用于食品饮料工业,此外十万级无尘车间在医工业中也很常用。十万级净化洁净室换气次数估算:十万级洁净室不小于15次/h。
万级换气次数[1] ≥25次/小时(一般取27-28);十万级换气次数≥15次/小时(一般17-18),但是不能盲目按照换气次数进行设计风量,要考虑房间及工艺余热、余湿。
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洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为「洁净室」。世界各国均有自定规格,但普遍还是用美国联邦标准209为多,以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位,洁净室等级以‵M′字头表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推,配合国际公制单位之标准化,M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示,取指数为之,若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间,则以1.5、2.5、3.5….表示。
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